维普中文期刊产品整合服务
意见 帮助
基本检索 作者索引 机构索引 期刊索引
  • 哲学宗教
  • 社会学
  • 政治法律
  • 军事
  • 经济管理
  • 文化科学
  • 语言文字
  • 文学
  • 艺术
  • 历史地理
  • 自然科学总论
  • 理学
  • 天文地球
  • 生物学
  • 医药卫生
  • 农业科学
  • 一般工业技术
  • 矿业工程
  • 石油与天然气工程
  • 冶金工程
  • 金属学及工艺
  • 机械工程
  • 兵器科学与技术
  • 动力工程及工程热...
  • 核科学技术
  • 电气工程
  • 电子电信
  • 自动化与计算机技术
  • 化学工程
  • 轻工技术与工程
  • 建筑科学
  • 水利工程
  • 交通运输工程
  • 航空宇航科学技术
  • 环境科学与工程
时间 1989 - 2010 学科选择学科
题名/关键词 模糊
与 题名/关键词 模糊
重新搜索 在结果中搜索
11篇 您的检索式：作者名="PLACHETKA U"
选中 清除  导出 查看参考文献 查看引证文献 引用追踪 共1页 首页 上一页 第1页 下一页 末页 /1 跳转
    题名 作者 年代 出处 被引量
1? al, Fabrica?tion of inverse micro/nano pyramid structures using soft UV-NIL and wet chemical methods for residual layer removal and Si-etching显示文摘KimJ W Plachetka U Moormann c 2013Microelectronic Engineering2013，，：1
2Status and prospects of UV-nanoimprint technology 显示文摘BENDER M FUCHS A PLACHETKA U 2006Microelectron Eng2006，83，456789：1
3Nanowire Fin Field Effect Transistors via UV-Based Nanoimprint Lithography显示文摘FUCHS A BENDER M PLACHETKA U 2006Journal of Vacuum Science &Technology B2006，24，6：1
4Improved mold fabrication for the definition of high quality nanopat- tems by Soft UV-Nanoimprint lithography using diluted PDMS material显示文摘KOO N BENDER M PLACHETKA U 2007Microelectronic Engineering2007，84，58：1
5High resolution lithography with PDMS molds显示文摘BENDER M PLACHETKA U RAN J 2004J Va Sci Technol B2004，22，6：1
6Wafer scale patterning by soft UV-Nanoimprint lithography 显示文摘PLACHETKA U BENDER M FUCHS A 2004Microelectronic Engineering2004，7374，：1
7Improved mold fabrication for the definition of high quality nanopatterns by Soft UV - Nanoimprint lithography using diluted PDMS material 显示文摘Koo N Bender M Plachetka U 2007Microelectronic Engineering2007，84，：1
8Improved mold fabrication for the definition of high quality nanopatterns by Soft UV -Nanoimprint lithography using diluted PDMS material 显示文摘Koo N Bender M Plachetka U 2007Microelectronic Engineering2007，84，：1
9Status and prospects of UV-Nanoimprint technology显示文摘BENDER M FUCHS A PLACHETKA U 2006Microelectronie Engineering2006，83，：1
10Waferscale patterning by soft UV-nanoimprint lithography显示文摘PLACHETKA U BENDER M FUCHS A 2004Mi-croelectronic Engineering2004，73，2：1
11Statusand prospects of UV-nanoimprint technology显示文摘BENDER M FUCHS A PLACHETKA U 2006Microelec-tronic Engineering2006，83，456789：1
返回顶部 每页显示：
共1页 首页 上一页 第1页 下一页 末页 /1 跳转
goolge学术搜索-维普

网站首页 | 关于我们 | 联系我们 | 产品服务 | 客服中心 | 广告服务 | 版权声明 | 网站联盟 | 友情链接 | 售卡网点

版权所有© 渝B2-20050021-1　渝公网安备 50019002500403号　违法和不良信息举报中心

互联网出版许可证 新出网证(渝)字10号 全国400电话 - 免长途话费