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2篇 您的检索式：作者名="M.Wimplinger"

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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	满足晶圆级封装微型化的曝光设备显示文摘	R.Pelzer H.Luesebrink H.Kirchberger M.Wimplinger P.Kettner A.Malzer 张平	2005	电子工业专用设备2005，34，2：	0
	2	喷雾式涂胶的新应用显示文摘讨论喷雾式涂胶(Spray oating)的多种新应用。在表面形貌起伏很大的表面均匀的涂布光刻胶是一项非常有挑战性的工作.喷雾式涂胶正是为了满足这个挑战而开发的。实践证明.与传统的旋涂技术相比.喷雾式涂胶可以在保持光刻胶胶均匀性的同时显著的节约光刻胶的用量。此技术也被发现可用于非圆形衬底和多件衬底同时涂布。此外.此技术也可以为脆弱的结构提供保护性涂胶以及填充悬空的结构。	C.Brubaker M.Wimplinger P.Keener S.Pargfrieder	2005	电子工业专用设备2005，34，F03：	0

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