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| 1 | 硅微型加速度传感器技术显示文摘介绍了硅微加速度计的基本原理以及国内外最新发展的几种硅微加速度计的结构形式,包括压阻式、电容式、隧道式等,分析了这些传感器的基本特点,总结出它们在传感器性能方面存在的一些问题,提出了一些解决关键问题的措施,并对目前两种新的微机理:共振隧穿和介观压阻效应的原理和应用前景进行了论述。 | 吴瑞 温廷敦 | 2007 | 仪表技术与传感器2007，，3： | 11 |
| 2 | 高冲击传感器、极端环境试验测试与计量校准显示文摘侵彻弹药可用于攻击敌方地下工事、大型舰船、重要桥梁等高价值目标,具有重要的战术价值,高冲击传感器作为各类高速侵彻弹药的核心器件,是实现精确炸点控制、达到最佳毁伤效能的关键。极端高冲击环境试验测试与计量校准重大仪器装备是支撑军工产品、核心器件研制、可靠性验证和评估评价的重要手段,西方国家对中国实行严格禁运与技术封锁。本文综述了高冲击传感器、极端恶劣环境试验测试与计量校准技术的国内外研究进展与发展趋势,分析了我国此类技术存在的难点与核心问题,指出了可行的解决途径、突破方向和研究趋势,为高冲击传感器、极端高冲击环境试验测试与计量校准技术的发展提供参考和依据。 | 张振海 张振山 胡红波 李科杰 崔占忠 蒋宇强 | 2019 | 计测技术2019，39，4： | 9 |
| 3 | 基于共振隧穿二极管的矢量水声传感器设计显示文摘提出了一种基于共振隧穿二极管(RTD)的矢量水声传感器,传感器采用共振隧穿二极管作为敏感元件,共振隧穿二极管布置在传感器结构中柱体的四周边缘.两个反方向变化的基于共振隧穿二极管的振荡器的输出信号通过信号处理电路预处理后输入微处理器,计算出声源水平方位角和声压.分析并设计了基于共振隧穿二极管的振荡电路、矢量水声传感器物理结构以及制作工艺,讨论了传感器信号处理方法. | 张斌珍 谢斌 薛晨阳 张文栋 陈尚 | 2006 | 传感技术学报2006，19，05B： | 6 |
| 4 | 基于共振隧穿二极管的GaAs悬臂式声传感器研究显示文摘实验研究了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTD)的振荡器的压力-频率转换特性,实验结果表明:该特性具有良好的线性特征,且其线性灵敏度达到0.84kHz/MPa.利用此压力-频率转换特性,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于RTD的GaAs基悬臂式声传感器结构,实现了RTD与GaAs基微机械加工技术的工艺集成. | 张文栋 王建 薛晨阳 熊继军 张斌珍 仝召民 | 2006 | 传感技术学报2006，19，05B： | 5 |
| 5 | 基于共振隧穿二极管的GaAs基压力传感器研制显示文摘为了突破传统的机电转换效应的宏观物理局限,为更高灵敏度、更低功耗的微/纳机电压力传感器的设计提供理论、工艺及实验依据,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTD)的GaAs基薄膜压力传感器,实现了RTD工艺与微机械加工技术的工艺集成.测试结果表明:该压力传感器的线性灵敏度达到0.1mV/kPa. | 王建 张文栋 薛晨阳 熊继军 张斌珍 仝召民 | 2006 | 传感技术学报2006，19，05B： | 4 |
| 6 | 基于介观压阻效应的高g值加速度计设计显示文摘依据介观压阻效应原理,设计出一种以超晶格量子阱薄膜为敏感单元的高g值纳机电加速度计,期望利用超晶格量子阱薄膜的高灵敏特性,提高加速度计的灵敏度。结合GaAs基表面微机械加工工艺和控制孔技术完成了加速度计的加工。采用马歇特冲击的方法完成了加速度计的测试,并利用冲击响应谱分析了微加速度计在有外部冲击情况下的响应,研究结果表明:依据介观压阻效应原理和MEMS技术制作高g值纳机电加速度计具有可行性,从测试结果可以看出该微加速度计不但冲击响应信号与标准加速度计所测信号很接近,而且它们的响应一致性较好。 | 陈尚 薛晨阳 张文栋 张斌珍 王建 范波 | 2008 | 传感技术学报2008，21，3： | 3 |
| 7 | 基于介观压阻效应的硅微加速度计研究显示文摘为了突破传统机电转换局限,提高加速度计灵敏度,提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计,基于这种原理设计并制备了GaAs基加速度计,通过理论分析计算与试验测试,得出该结构在0.1gn输入下的输出,并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较,验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的可行性,为此类加速度计的设计提供参考. | 吴瑞 温廷敦 | 2007 | 传感技术学报2007，20，8： | 3 |
| 8 | 介观压阻效应及器件显示文摘介绍GaAs/AlAs/InGaAs双势垒超晶格薄膜结构的介观压阻效应以及几种基于此效应的新型传感器件。阐述介观压阻效应的四个过程,结合空气桥结构和欧姆接触技术,在[001]晶向半绝缘GaAs衬底上加工出来了GaAs/AlAs/InGaAs共振隧穿结构(Resonant tunneling structures,RTS),并对其进行了加压试验研究,发现其介观压阻灵敏度达到2.54×10^(-9)Pa^(-1),是硅压阻灵敏度的一个数量级以上。采用控制孔技术成功加工出了基于RTS的圆膜压力、四梁加速度和仿生矢量水声三种新型纳机电器件,并分别对其进行了压力罐、振动台和水下驻波测试。结果表明圆膜压力传感器具有较好的力电耦合特性:四梁加速度计的压阻灵敏度随RTS两端偏置电压可调,并在微分负阻区具有最大压阻灵敏度;矢量水听器具有良好的'8'字余弦指向性,灵敏度在1 000 Hz时达到184.6 dB,可以实现水平面内的水下声信号探测。 | 张文栋 熊继军 薛晨阳 张斌珍 仝召民 | 2008 | 机械工程学报2008，44，11： | 3 |
| 9 | 介观压阻型硅锗加速度计研究显示文摘提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度压阻式硅锗加速度计,采用Si1-xGex/Si结构薄膜作为敏感元件,设计了一个双悬臂梁式的压阻式硅锗加速度计.通过理论分析与仿真计算,得出通过调整对该结构的外加应力可以实现对传感器灵敏度的调节,而且利用介观压阻效应原理可以将压阻式硅微加速度计的灵敏度提高一个数量级的结论.为设计新型压阻式硅微加速度计提供了一种思路. | 温银萍 温廷敦 | 2009 | 微电子学与计算机2009，26，3： | 3 |
| 10 | GaAs微结构中共振隧穿薄膜介观压阻效应研究显示文摘设计并利用控制孔技术加工了GaAs基微结构和基于该微结构的共振隧穿薄膜,并通过实验研究了微结构中共振隧穿薄膜的介观压阻效应,试验结果表明其介观压阻灵敏度比硅的最大压阻灵敏度高一个数量级。 | 王建 张文栋 薛晨阳 熊继军 张斌珍 | 2006 | 半导体技术2006，31，9： | 3 |
| 11 | 静电驱动压阻检测微机械陀螺仪的研究显示文摘对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍.与硅压阻器件相比,本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式,实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米膜器件的加工,较好地实现了工艺的兼容.通过对结构进行模态仿真,确定了陀螺的固有频率. | 王瑞荣 杜康 石云波 刘俊 | 2010 | 测试技术学报2010，24，4： | 3 |
| 12 | 介观压阻型微压力传感器设计显示文摘运用共振隧穿双势垒(DBRT)结构中的一种压阻效应原理—介观压阻效应,用GaAs/AlAs/InGaAs DBRT结构薄膜作为敏感元件,设计了一个周边固支平膜片结构的压力传感器。并对介观压阻和普通压阻灵敏度的量级作出了比较,验证了介观压阻效应原理,可以提高压力传感器的灵敏度,为制造基于介观压阻效应的新型超敏感型传感器提供了一定的理论依据。 | 王伟 温廷敦 | 2009 | 电子设计工程2009，17，2： | 2 |
| 13 | Zn_(1-x)Cd_xSe/ZnS量子阱材料的共振遂穿特性研究显示文摘本文通过对共振隧穿电流密度随外加偏压及应力而变的依赖关系的理论研究,模拟了Zn_(1-x)Cd_xSe/ZnS共振隧穿电流密度随外加偏压及应力的变化曲线。给出了等效电阻系数随外加偏压及应力而变的依赖关系,得出了介观压阻系数与外应力的变化符合线性关系的结论。这些结论为将机械信号转换为电学信号的介观效应器件的设计提供了理论指导。 | 安盼龙 许丽萍 温银萍 | 2009 | 红外2009，30，3： | 2 |
| 14 | 一种新型力电耦合超晶格半导体结构研究显示文摘采用分子束外延方法在GaAs衬底(001)上生长了AlAs/GaAs双势垒超晶格薄膜结构,测试出超晶格薄膜在室温下随着外加压力变化下,其I-V特性曲线的漂移与外加压力成一定比例关系。为基于MEMS共振隧穿效应的力电耦合传感器的研究提供了一定的基础。 | 张斌珍 李科杰 张文栋 薛晨阳 | 2007 | 兵工学报2007，28，2： | 2 |
| 15 | 基于量子阱薄膜的纳机电矢量水听器设计显示文摘根据介观压阻效应原理以及柱体声学理论,提出了一种基于量子阱薄膜的纳机电矢量水听器,期望利用量子阱薄膜材料的高灵敏度压阻效应以及水听器精巧的微结构,提高矢量水听器的灵敏度,实现水听器的低频特性及结构微小型化。首先概括地描述了介观压阻效应原理以及柱体声学理论;完成了水听器的结构设计;采用GaAs基微机械加工工艺完成了水听器的加工并对水听器进行了封装,最后对研制出的水听器的性能指标进行了测试,测试结果表明:纳机电矢量水听器不但体积小、质量轻、结构简单,而且能够获取水下声场的质点振动信息,具有'8字型'的指向性,可进行水下声信号的定位探测。 | 薛晨阳 陈尚 张文栋 刘俊 张斌珍 李丽华 | 2008 | 功能材料与器件学报2008，14，1： | 2 |
| 16 | 吸收条件下光子晶体介观压光效应的研究显示文摘在考虑材料吸收的情况下利用传输矩阵的方法研究光子晶体介观压光效应。研究表明:当在光子晶体的轴向方向施加应力产生应变时,光子晶体缺陷模将向左(波长小的方向)移动;缺陷模透射峰的峰值和半高宽不随应变的变化而变化;当消光系数和有效弹光系数增大时,介观压光系数的绝对值将会减小,即缺陷模透射率对应力的变化越来越不敏感。这为高灵敏应力传感器的设计提供了理论参考。 | 牛永宾 李俊漾 许丽萍 温廷敦 李红梅 | 2013 | 人工晶体学报2013，42，9： | 1 |
| 17 | 介观压阻型硅微压力传感器仿真分析显示文摘为了突破传统机电转换局限,提高压力传感器灵敏度,提出以介观压阻效应[1]为工作原理制作高灵敏度的硅微压力传感器,设计了一种圆形的平膜片结构,建立其三维实体有限元模型,通过理论分析与仿真计算,得出该结构的尺寸对其灵敏度、固有频率、谐振频率及模态振型的影响规律,为此类压力传感器结构的优化设计提供参考。 | 王伟 温廷敦 | 2009 | 电子技术(上海)2009，36，4： | 1 |
| 18 | 基于共振隧穿二极管的微机械陀螺设计显示文摘介绍了一种基于介观压阻效应的新型电磁式微机械陀螺,并对陀螺进行了结构设计。该结构采用电磁驱动方式,实现了工作电压小、驱动力大、行程大的要求;采用共振隧穿二极管(RTD)所具有的介观压阻效应检测方式,本质上提高了陀螺的灵敏度。用ANSYS软件对结构进行了模态分析和路径分析,确定了结构的固有频率和RTD放置位置。结合目前工艺要求,对该陀螺进行了工艺设计并实现了结构加工。 | 王瑞荣 杜康 李孟委 石云波 刘俊 李平 | 2010 | 传感技术学报2010，23，5： | 1 |
| 19 | 基于共振隧穿结构的压阻系数显示文摘以共振隧穿结构为压阻器件可以得到较高的灵敏度,但是当实验选择不同的工作偏压时,这种压阻效应表现得极其不同。由于高灵敏度是依靠较高的I-V曲线斜率获得的,因此最初人们希望选择具有较高峰谷比结构作为器件。但是有些区域的斜率过大,以至于压阻效应失去线性及稳定性而变得没有实用价值。另外,在某些工作区域由于共振隧穿结构本身具有的双稳态特性,而使其完全失去压阻特性。本文对这些问题进行了系统分析,并对一个具体的结构,分析其工作区域及特性,给出最高灵敏度可达700左右。 | 魏天杰 薛晨阳 李艳 张文栋 | 2008 | 功能材料与器件学报2008，14，1： | 1 |
| 20 | GaAs基共振遂穿二极管的材料结构研究显示文摘用分子束外延技术在半绝缘GaAs衬底上生长了三种不同材料结构的RTD。主要针对阱结构进行了对比设计,然后对设计结构进行了常温下的I-V特性测试,测试结果中器件的PVCR值最高达到了6,VP降低到了0.41V。同时常温下测试了其中一种设计结构的敏感单元在四种不同发射极面积下的I-V特性曲线。最后对器件阱结构和发射极面积大小与器件直流特性的关系进行了分析总结,为设计性能更好的RTD结构提供了参考依据。 | 王杰 张斌珍 刘君 唐建军 谭振新 贾晓娟 高杰 | 2011 | 固体电子学研究与进展2011，31，2： | 1 |
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