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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	用于HIT太阳能电池的非晶硅薄膜制备与性能研究显示文摘采用射频等离子体增强化学气相沉积技术(RF-PECVD),在不同硅烷浓度下制备本征非晶硅薄膜,研究薄膜材料的微结构和光电性能。研究表明,在硅烷浓度为5%时,制备的薄膜材料处于非晶/微晶相过渡区域,具有宽光学带隙、低吸收系数、较高电导率和较好的致密性。作为钝化层应用到HIT太阳电池中,具有良好的钝化效果,在n型单晶硅衬底上制备出了效率为13.92%的太阳电池。	齐晓光雷青松杨瑞霞薛俊明柳建平	2013	人工晶体学报2013，42，11：	3

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