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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	Research on the Key Technology of LTCC Pressure Sensor显示文摘这篇文章基于低温度介绍电容的压力传感器的制造技术过程共同开火陶器(LTCC ) 材料。作为牺牲的层用不同材料填满洞主要被讨论,并且二不同材料在制造被选择。充满 polyimide 的洞主要在 sintering 期间膨胀,这被发现,当充满的碳 ESL49000 材料更更好使洞扁平时。最后,在一条空气撤退隧道外面,离开的结构被设计并且测试在一布满建筑物压力环境,测量的频率线性地近似减少,压力适用,它证明不离开空气撤退隧道的设计明智。	Xiaoyan DAI Yukun YUAN Tanyong WEI Qiulin TAN	2015	Photonic Sensors2015，5，3：	0

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