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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	用原位腔内清洗提高Al刻蚀的MTBC显示文摘优化原位腔清洗工艺可延长清洗之间Al刻蚀腔加工时间(MTBC),不损伤清洗腔内部,同时也保持了合理的产额。Cl/O2能非常有效地去除碳基聚合物,而BCl3/Cl最有利于去除Al副产品。通过提高压力得到了顶盖/侧壁清洗均匀性方面最好的改进。实行最佳清洗工艺后,MTBC提高了4倍。	F.Chen Y.Huang Q.Ge H.Ng	2013	功能材料与器件学报2013，19，5：	0

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