维普期刊资源整合服务平台（V6.5）

3篇 您的检索式：作者名="Alexa Perry"

选中清除导出查看参考文献查看引证文献引用追踪共1页首页上一页第1页下一页末页 /1 跳转

	题名	作者	年代	出处	被引量
1	The CPED Argument: A Counter- Response 显示文摘	ill Alexa Perry	2014	UCEA Review2014，55，1：	1
2	优化检测制程设计加速改善65nm芯片的良率显示文摘描述一种广泛应用于探索制程设计方面的系统性及随机性故障的短流程测试芯片与先进的检测工具平台相结合的综合方法,以对在65nm技术节点上的关键性缺陷进行特征化描述和监控,借此加速基于缺陷的良率学习。通过独特的快速电性测试方案、快速分析软件以及优化的检测效果,可缩短快速制程开发的学习周期。通过将在一个领先的300mm晶片厂得到的CV检测设置知识经验成功运用于制造过程,优化了产品的关键缺陷(DOI)检测。	Sang Chong Eric Rying Alexa Perry Stephen Lam Mary Ann St Lawrence	2008	电子工业专用设备2008，37，3：	0
3	设计信息提高SEM缺陷检测取样效率显示文摘基于设计的分级将来自设计数据的版图信息与检测到的每个缺陷的相对位置结合起来,利用这种方法可提高缺陷帕雷托质量。通过对系统缺陷和有害缺陷进行分级,可以改进SEM检测。	Scott Jansen Stephen Fox Glenn Florence Alexa Perry	2008	集成电路应用2008，25，10：	0

返回顶部每页显示：

共1页首页上一页第1页下一页末页 /1 跳转

互联网出版许可证新出网证(渝)字10号全国400电话 - 免长途话费