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时间 1989 - 2010 学科选择学科
题名/关键词 模糊
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1篇 您的检索式：作者名="AIexAche.IBM"
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    题名 作者 年代 出处 被引量
1对uLoop进行电压对比测试,及时有效对接触层进行在线缺陷分析显示文摘本文介绍了在在线电压比较检测中可采用未接地链测试结构对诱发通孔和接触孔开路缺陷的机制进行监控和调试。它为如何利用在线电压对比检测技术的优点带来众多新的机会。同时,本文还提出一种有关开路链的 VC信号表现的解释理论,并进行了实验验证。此外,本文还介绍了在 IBM 的300毫米代工厂中对这一现象的应用方法以及部分使用案例。oliver D.Patterson Horatio Wildman AIexAche.IBM KevinT.Wu KLA-Tencor 2006集成电路应用2006，23，7：0
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