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时间 1989 - 2010 学科选择学科
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10篇 您的检索式：期刊名="Microelectromeehanical Systems"
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1Development of an End-Point D-etector for Parylene Deposition Process显示文摘Wongso Sutomo Wang Xuefeng David Bullen 2003Journal of Microelectromeehanical Systems2003，1，12：1
2Theory of thermoelastic damping in micromechanical resonators with two-dimensional heat conduction 显示文摘Prabhakar S Vengallatore S 2008Journal of Microelectromeehanical Systems2008，17，2：1
3Modeling flexural plate wave devices 显示文摘WEINBERG M S CUNNINGHAM B T CLAPP C W 2000Microelectromeehanical Systems2000，9，3：1
4Generating efficient dynamical models for microelectromechanieal systems from a few finite element simulations runs显示文摘Hung E S Senturia S D 1999Journal of Microelectromeehanical Systems1999，8，2：1
5Wireless Micromaeh- ined Ceramic Pressure Sensor fiw High-Temperature Applications 显示文摘Formseca M A English J M Von Arx M 2002Journal of Microelectromeehanical Systems2002，11，4：1
6A Closed-Loop Mass Flow Controller Based on Static Solid-State Devices 显示文摘Bruschi Paolo Navarrini Dino Piotto Massimo 2006Journal of microelectromeehanical systems2006，15，3：1
7MEMS vertical probe cards with ultra densely arrayed metal probes for wafer-level IC testing 显示文摘WANG F CHENG R Li X X 2009Microelectromeehanical Systems2009，18，4：1
8An electromagnetic micro powergenerator for low-frequency environmental vibrations based on the frequency upconversion technique显示文摘Sari I Balkan T Kulah H 2010Journal of Microelectromeehanical Systems2010，19，1：1
9Elec- trothermally actuated silicon carbide tunable MEMS resonators显示文摘MASTROPAOLO E WOOD G S GUAL I 2012Journal of Microelectromeehanical Systems2012，21，4：1
10A mierofabricated inductively-coupled plasma generator显示文摘Hopwood J 2000Journal of Microelectromeehanical Systems2000，9，3：1
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