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时间 1989 - 2010 学科选择学科
题名/关键词 模糊
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11篇 您的检索式：期刊名="MicroelectromechanicalSystems Journal of"
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    题名 作者 年代 出处 被引量
1A liquid-filled microrelay with a moving mercury microdrop 显示文摘SIMON J SAFFER S KIM C J 1997Journal of MicroelectromechanicalSystems1997，，6：1
2Theoreticalmodeling for a six-DOF vortex inertial sensor and experi-mental verification 显示文摘CHANG H L ZHOU P W XIE ZH J 2013Journal of MicroelectromechanicalSystems2013，22，5：1
3Error sources in in-plane silicontuning-fork MEMS gyroscopes 显示文摘Weinberg M Kourepenis A 2006MicroelectromechanicalSystems Journal of2006，15，3：1
4Design, modeling, and fabrication ofMEMS-based multicapillary gas chromatographic columns 显示文摘Zareian-Jahromi M A Ashraf-Khorassani M Taylor L T 2009MicroelectromechanicalSystems Journal of2009，18，1：1
5A resonantmicroaccelerometer with high sensitivity operating in anoscillating circuit显示文摘Comi C Corigliano A Langfelder G 2010Journal of MicroelectromechanicalSystems2010，19，5：1
6M-TEST: A test chip for MEMS material property measurement using electrostatically actuated test structures显示文摘OSTERBERG P M SENTURIA S D 1997Journal of MicroelectromechanicalSystems1997，6，2：1
7Wireless Intraocular PressureSensing Using Microfabricated Minimally Invasive Flexible-CoiledLC Sensor Implant 显示文摘Chen P J Saati S Varma R 2010Journal of MicroelectromechanicalSystems2010，19，4：1
8Modeling the fluid dynamics of electrowetting on dielectric (EWOD)显示文摘WALKER S W SHAPIRO B 2006Journal of MicroelectromechanicalSystems2006，15，4：1
9A multilevel Newton method for mixed-energy domain simulation of MEMS显示文摘ALURU N R WHITE J 1999Journal of MicroelectromechanicalSystems1999，8，3：1
10An improved anodic bonding process using pulsed-voltage technique 显示文摘Thomas M H Lee I Ming Hsing Member 2002Journal of MicroelectromechanicalSystems2002，9，4：1
11A resonantmicroaccelerometer with high sensitivity operating in anoscillating circuit显示文摘Comi C Corigliano A Langfelder G 2010Journal of MicroelectromechanicalSystems2010，19，5：1
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