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时间 1989 - 2010 学科选择学科
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17篇 您的检索式：期刊名="Microelectr Eng"
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    题名 作者 年代 出处 被引量
1Heterojunction with polycrystalline thin films for optoelectronic devices applications显示文摘PURICA M BUDIANU E RUSU E 2000Microelectr Eng2000，52，：1
2Tantalum carbide and nitride diffusion barriers for Cu metallization显示文摘Laurila T Zeng K 2002Microelectr Eng2002，60，：1
3Fabrication of a low resistivity tantalum nitride thin film显示文摘Shen H Ramanathan R 2006Microelectr Eng2006，83，2：1
4Heterojunction with polycrystalline thin films for optoelectronic devices applications显示文摘MUNIZER P ELENA B EMIL R 2000Microelectr Eng2000，52，：1
5Reactive sputter deposition and properties of TaN thin films显示文摘RIEKKINENA T MOLARIUSA J LAURILAB T 2002Microelectr Eng2002，64，14：1
6Adhesion studies of CVD copper metallization 显示文摘GANDIKOTA S VOSS S TAO R 2000Microelectr Eng2000，50，：1
7Fabrication of a low resistivity tantalum nitride thin films显示文摘SHEN H RAMANATHAN R 2006Microelectr Eng2006，83，2：1
8Conformal copper deposition in deep trenches 显示文摘BOLLMANN D MERKEL R KLUMPP A 1997Microelectr Eng1997，3738，：1
9Ferroelectric memories and their applications显示文摘Hidemi Takasu 2001Microelectr Eng2001，，59：1
10Current status and challenges of ferroelectric memory devices显示文摘Kohlstedt H Mustafa Y Gerber A 2005Microelectr Eng2005，80，：1
11Heterojunction with polycrys- talline thin films for optoelectronic devices applications 显示文摘Munizer P Elena B Emil R 2000Microelectr Eng2000，52，：1
12A novel ferroelectric based microphone显示文摘Ren T L Zhang L T Liu J S 2003Microelectric Eng2003，66，：1
13Review of the wafer stage for nanoimprint lithography显示文摘Lan Hongbo Ding Yucheng Liu Hongzhong 2007Microelectr Eng2007，84，：1
14Metal direct nanoim-printing for photonics显示文摘Stefano Buzzi Franck Robin 2008Microelectr Eng2008，85，：1
15A new way of manu-facturing high resolution optical encoders by nanoim-print lithography显示文摘Merino S Retolaza A Juarros A 2007Microelectr Eng2007，84，：1
16Graphene electrodes for n-type organic field-effect transistors显示文摘Henrik H Henrichsen Peter Boggild 2010Microelectr Eng2010，87，58：1
17Carbon nanotubes for in- tegration into nanoeomposite materials显示文摘Bright I Koutsos V Li Q 2006Microelectr Eng2006，83，49：1
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