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时间 1989 - 2010 学科选择学科
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18篇 您的检索式：期刊名="J Microelectromech S"
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    题名 作者 年代 出处 被引量
1A novel method to guarantee the specified thickness and surface roughness of the roll-to-roll printed patterns using the tension of a moving substrate显示文摘LEE C KANG H KIM C 2010J Microelectromech S2010，19，5：1
2A SU-8-based fully integrated bioeompatible inductively powered wire- less neurostimulator 显示文摘CHO S H XUE NING CAULLER L 2013J Microelectromech S2013，22，2：1
3Compact Damping Models for Lat-erally Moving Microstructures With Gas-Rarefaction Ef-fects显示文摘Veijola T Turowski M 2001J Microelectromech S2001，10，2：1
4Electrochemically driven polypyrrole bilayers for moving and positioning bulk micromachined silicon plates 显示文摘Smela E Kallenbach M Holdenried J 1999J Microelectromech S1999，8，：1
5Selective transfer technology for microdevice distribution显示文摘Guerre R Drechsler U Jubin D 2008J Microelectromech S2008，17，1：1
6Micro power generator for harvesting low-frequency and nonperiodie vibrations 显示文摘Galehev T Hanseup K Najafi K 2011J Microelectromech S2011，20，4：1
7Sacrificial layer process with laser-driven release for batch assembly operations显示文摘Holmes A S Saidam S M 1998J Microelectromech S1998，7，4：1
8Monolithic MEMS quadrupole mass spectrometers by deep silicon etching显示文摘GEEAR M SYMS R R A WRIGHT S 2005J Microelectromech S2005，14，5：1
9Air-channel fabrication for microelectromeehanieal systems via sacrificial photosensitive polycarbonates显示文摘JAYACHANDRAN J P REED H A ZHEN Hong shi 2003J Microelectromech S2003，12，2：1
10Wall profile of thick photoresist generated via contact printing显示文摘CHENG Yao LIN Chingyao Wei D H 1999J Microelectromech S1999，8，1：1
11Fabrication and Characterization of Polymer Hollow Microneedle Array Using UV Lithography Into Micromolds显示文摘Wang P C Paik S J Chen S 2013J Microelectromech S2013，5，22：1
12Analysis of piezoresistance in p-type silicon for mechanical sensors 显示文摘Toriyama T Sugiyama S 2002J Microelectromech S2002，11，59：1
13M-TEST:A test chip for MEMS material property measurement using eletrostatically actuated test structures显示文摘OSTERBERG P M SENTURIA S D 1997J Microelectromech S1997，6，2：1
14Two-photon-absorbednear-infrared photopolymerization for three dimensional microfabrication显示文摘S Maruo S Kawata 1998J Microelectromech S1998，7，：1
15Fabricationand characterization of a nanowire/polymer-based nanocompositefor a prototype thermoelectric device 显示文摘ABRAMSON A R KIM W C HUXTABLE S T 2004J Microelectromech S2004，13，：1
16Surface micromach- ined metallic microneedles显示文摘Chaudrasekaran S Brazzle JD Frazier AB 2003J Microelectromech S2003，12，3：1
17Studies on SurfaceWettability of Poly(Dimethyl)Siloxane(PDMS)and Glassunder Oxygen-Plasma Treatment and Correlation with BondStrength显示文摘Bhattacharya S Datta A Berg J M 2005J Microelectromech S2005，14，：1
18A SU-8-basedfully integrated biocompatible inductively poweredwireless neurostimulator 显示文摘Cho S H Xue N Cauller L 2013J Microelectromech S2013，22，2：1
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