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10篇 您的检索式：期刊名="IEEE J Microelectromech Syst"

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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	Micronachined Polysilicon Microscanners for Barcode Readers 显示文摘	Kiang Meng Hsiung Olay Solgaard Richard Mullers	1998	IEEE J Microelectromech Syst1998，，7：	1
	2	On the dynamic pullin of electrostatic actuators with multiple degrees of freedom and multiple voltage sources 显示文摘	ELATA D BAMBERGER H	2006	IEEE J Microelectromech Syst2006，15，1：	1
	3	Electrochemically driven Polypyrrole bilayers for moving and positioning bulk micromachined silicon plates 显示文摘	Smela E Kallenbach M Holdenried J	1999	IEEE J Microelectromech Syst1999，8，4：	1
	4	Micromachined chemical and biochemical analysis and reactions systems on glass substrates显示文摘	Harrison D J Fluri K Chiem N	1993	IEEE J Microelectromech Syst1993，2，1：	1
	5	A Simulation program for the sensitivity and linearity of piezoresistive pressure sensors显示文摘	CHU H LU Y	1999	IEEE J Microelectromech Syst1999，8，：	1
	6	Pull-instudy of an electrostatic torsion microactuator显示文摘	DEGANI O SOCHER E LIPSON A	1998	IEEE J Microelectromech Syst1998，7，4：	1
	7	An angle-based design approach for rectangular electrostatic tor-sion actuators显示文摘	XIAO Z X WU X T PENG W Y	2001	IEEE J Microelectromech Syst2001，10，4：	1
	8	Charge control of parallel-plate,electrostatic actuators and the tip-in instability显示文摘	SEEGER J I BOSER B E	2003	IEEE J Microelectromech Syst2003，12，5：	1
	9	A reduced-order model for electrically actuated microbeam-based MEMS 显示文摘	YOUNIS M I ABDEL-RAHMAN E M NAYFEH A	2003	IEEE J Microelectromech Syst2003，12，5：	1
	10	Pull-in study of an electrostatic torsion microactuator显示文摘	DEGANI O SOCHER E LIPSON A	1998	IEEE J Microelectromech Syst1998，7，4：	1

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