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	题名	作者	年代	出处	被引量
1	一种提高偏振光斯托克斯参量测量精度的方法显示文摘波片相位延迟量误差是影响旋转波片法斯托克斯(Stokes)参量测量精度的主要因素。通过对传统旋转波片法测量Stokes参量的原理进行理论分析,研究了测量误差与相位延迟量误差之间关系,提出了提高偏振光Stokes参量测量精度的方法。该方法通过调整检偏器透光轴方向与待测光束偏振方向成90°或45°后再进行测量,可有效减小波片相位延迟量误差对Stokes参量测量的影响。实验结果表明,当相位延迟量误差小于1.2°时,采用所提出的优化旋转波片法使Stokes参量测量误差从传统旋转波片法的4.31%减小到0.33%。	汤飞龙李中梁步扬王向朝范李立曹绍谦	2013	中国激光2013，40，4：	14
2	下一代光刻技术显示文摘介绍了下一代光刻技术的演变,重点描述了浸没式光刻技术、极端远紫外光刻技术、纳米压印光刻技术和无掩模光刻技术的基本原理、技术优势、技术难点以及研发,并展望了这几种光刻技术的前景。	佟军民胡松余国彬	2005	电子工业专用设备2005，34，11：	4
3	浸没式光刻技术显示文摘综合叙述了浸没式光刻技术的基本工作原理和相对于157nm干式光刻技术的优势,简要介绍了当前的研发动态并对其具体实现的问题进行探讨。	吴龙海	2004	微纳电子技术2004，41，11：	3

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