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| 1 | MEMS加速度计的六位置测试法显示文摘主要介绍了MEMS加速度计的六位置测试法,根据MEMS加速度计输出数学模型详细推导了如何得到MEMS加速度计的输出数学模型中的刻度因数、零偏以及安装误差,并在得到其标定系数后将其封装在C函数中进行了验证实验。通过实验数据分析可知,MEMS加速度计的六位置测试法原理简单、易于实现,且精度较高。这种标定法所得到的MEMS加速度计输出能够比较准确地反映其输出,而且MEMS加速度计的线性度有所改善。 | 宋丽君 秦永元 | 2009 | 测控技术2009，28，7： | 40 |
| 2 | 基于柔性铰链的热驱动微夹钳的实验和仿真分析显示文摘微执行器在整个微机电系统中直接面对其应用对象,需要满足定位精度高,稳定性好,响应速度快,控制方便的要求.柔性铰链以其特殊的性能广泛应用于操作执行器的设计应用中.以一种基于柔性铰链的电热驱动微夹钳为研究对象,通过实验和ANSYS有限元仿真分析对微夹钳的机械性能进行了分析,发现微夹钳端部的输出位移与输入电压基本呈线形关系.通过仿真分析探讨了柔性铰链结构尺寸变化对微夹钳性能的的影响. | 王旭 沈雪瑾 张永宇 | 2006 | 传感技术学报2006，19，05A： | 3 |
| 3 | 之字型支撑梁硅微谐振器机械性能分析显示文摘与相同几何尺寸的其他支撑形式相比,之字型支撑梁降低了硅微谐振器的谐振频率。通过对之字型支撑梁硅微谐振器的力学建模分析,发现其为5次超静定问题,在此基础上得出了谐振频率等重要的性能参数随几何参数的变化关系。分析结果表明,在保证支撑梁垂直长度不变的条件下,对固定的折弯次数n,谐振频率fx 随折弯角度φ的增大而增大;对固定的折弯角度φ,谐振频率fx 随折弯次数n的增大而趋于一个固定值;φ=90°时则等效于双侧直脚型微谐振器。 | 袁磊 沈雪瑾 赵江铭 陈晓阳 | 2005 | 中国机械工程2005，16，10： | 2 |
| 4 | 微谐振器中静电切向阻力的仿真分析显示文摘微谐振器在MEMS器件中广泛作为感知或致动单元,但其工作在静电场中的部分构件,因微小间隙常会产生静电切向阻力。通过简化硅微谐振器为一微平行板电容模型,利用有限元仿真软件ANSYS对光滑与粗糙表面平板所受到的静电切向阻力进行了仿真分析。结果表明:静电阻力随着平板之间电压、ly/d的增大而增大,光滑表面平板模型仿真结果和理论结果具有较好的一致性,而粗糙表面平板模型仿真结果和理论结果的偏差随着电压的增大而增大。 | 侯利程 沈雪瑾 陈晓阳 王旭 | 2006 | 机械设计与研究2006，22，3： | 0 |
| 5 | 基于ANSYS的之字型微谐振器的仿真分析显示文摘利用大型通用有限元仿真软件ANSYS7.0,对之字型微谐振器的简化力学模型进行静态和模态分析,得到水平方向的最大位移和谐振频率等重要性能参数。将仿真结果与理论分析计算的结果进行对比,两者有较好的一致性。 | 袁磊 沈雪瑾 张鹏程 陈晓阳 | 2005 | 微纳电子技术2005，42，5： | 0 |
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