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| 1 | 固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系研究进展显示文摘固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术,具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性.基于其独特的优越性,固贴式薄膜体声波谐振器成为了科研工作者们关心的热点,并在第三代无线通信系统中已得到广泛应用,例如作为基本单元用来制作滤波器、双工器和振荡器等第三代无线通信系统中的频率选择器件.器件选用的材料体系是决定器件性能的关键因素.本文以器件结构为线索,综述了固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系的研究进展,包括压电薄膜(氮化铝、氧化锌等)、高/低声阻抗材料以及电极薄膜,讨论了材料性能和器件性能的关系,并对材料体系下一步的研究方向进行了展望。 | 刘罡 朱嘉琦 王赛 陆晓欣 刘远鹏 霍施宇 袁欣薇 | 2010 | 无机材料学报2010，25，12： | 8 |
| 2 | 以四面体非晶碳为布拉格反射栅高声阻抗材料的固贴式薄膜体声波谐振器性能仿真分析显示文摘为了提高固贴式薄膜体声波谐振器(SMR)的电学和声学品质,实现四面体非晶碳(ta-C)在体声波器件领域的新应用,建立了以ta-C为布拉格反射栅高声阻抗材料的SMR模型,利用MathCAD仿真研究布拉格反射栅层数对该SMR的谐振特性的影响以及ta-C中sp3杂化含量和高/低声阻抗层厚度偏差对SMR的品质因子(Q值)的影响。结果表明层数的增加提高了SMR的品质;ta-C薄膜sp3杂化含量越高,达到饱和Q值所需层数越少,当含量为80%时,至少需要6层(3对)布拉格反射层使SMR达到优异Q值;距离压电堆越近的高/低声阻抗层,其厚度偏差对Q值的影响越大,从而实现了高频率(8GHz)低损耗的SMR的设计。 | 陆晓欣 朱嘉琦 王赛 刘罡 刘远鹏 袁欣薇 霍施宇 | 2012 | 功能材料2012，43，14： | 1 |
| 3 | 谐振面积与电极图案对质量传感器性能的影响显示文摘在p型(100)单晶Si基衬底上,利用磁控溅射设备完成直流溅射Mo/Ti布拉格反射层和射频反应溅射AlN压电层,用光刻微加工工艺设计了不同谐振面积与电极图案的Ti/Au上电极,在优化工艺条件下制备了氮化铝基体声波质量传感器,比较分析了不同电极图案和谐振面积对传感器性能的影响。研究表明,电极图案相同时,谐振面积为10 000(100×100)μm2的器件电学性能最好,谐振面积相同时,电极图案为圆形的损耗最小;内角为直角的正方形损耗最大,内角为钝角的五边形损耗居中。 | 郑丹 | 2014 | 新技术新工艺2014，，2： | 1 |
| 4 | 单端SAW器件设计及有限元仿真显示文摘随着信息技术和通讯技术的发展,通讯设备中需要处理的信号频段和信号量也在不断增加。而声表面波(SAW)器件不仅具有优异的信号传感、信号延时以及信号滤波功能,还具有结构简单、尺寸小、成本低、适于大规模生产的优点,因此广泛应用于通讯设备。本文设计了一个单端SAW器件,并使用COMSOL Multiphysics软件对其进行有限元仿真分析,仿真发现,器件的反谐振频率为反谐振频率为190.79MHz,谐振频率为190.84MHz。 | 谢易微 许绍俊 | 2020 | 科技风2020，，23： | 0 |
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