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时间 1989 - 2010 学科选择学科
题名/关键词 模糊
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    题名 作者 年代 出处 被引量
1InSb晶片表面有机物沾污清洗的分子动力学研究显示文摘清洗是混成式探测器芯片器件制造过程中的一道关键工序。探测器芯片表面所吸附的有机物沾污是清洗的主要目标。使用第一性原理与分子动力学相结合的方法研究了丙酮、乙酸乙酯对InSb晶面有机物沾污(主要成分为502)的清洗机理。第一性原理计算结果表明,丙酮与乙酸乙酯的分子反应活性位点均离域在杂原子上,两者可通过杂原子对吸附在InSb表面的502解吸附以达到清洗的目的。分子动力学模拟结果表明,乙酸乙酯可以促进丙酮分子在502膜层中的扩散能力,以此加强丙酮对502的去除作用。马腾达 冯晓宇 宁提 王慧 李浩冉 徐港 檀柏梅 李兰兰 2023红外2023，44，12：0
2嵌段型中性键合剂与CL-20晶面的相互作用显示文摘为研究嵌段型中性键合剂与CL-20表面的相互作用,采用Materials studio软件对NPBA与CL-20进行分子模型构建,并使用Forcite模块对NPBA与CL-20构建界面模型进行动力学计算、径向函数分布计算以及自由体积计算。结果表明:嵌段型NPBA与CL-20之间存在近程的氢键、范德华力,以及远程的范德华力作用。嵌段型NPBA可以通过—COOCH_(2)CH_(2)OH基团与—COOCH_(3)基团之间的取代,以及改变—CN基团的数量来影响CL-20与NPBA之间的氢键作用和范德华力的大小,进而影响嵌段型NPBA与CL-20之间的相互作用。秦李钦 2021现代工业经济和信息化2021，11，11：0
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