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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	气相沉积技术在原子制造领域的发展与应用显示文摘随着未来信息器件朝着更小尺寸、更低功耗和更高性能方向的发展,构建器件的材料尺寸将进一步缩小.传统的'自上而下'技术在信息器件发展到纳米量级时遇到瓶颈,而气相沉积技术由于其能在原子尺度构筑纳米结构引起极大关注,被认为是最有潜力突破现有制造极限进而在原子尺度构造、搭建物质形态的'自下而上'方法.本文重点讨论适用于低维材料的原子尺度制造的分子束外延技术和原子层沉积/刻蚀技术.简要介绍相关技术中蕴含的科学原理及其在纳米信息器件加工和制造领域的应用,并探讨如何在原子尺度实现对低维功能材料厚度和微观形貌的精密控制.	郭秦敏秦志辉	2021	物理学报2021，70，2：	5
	2	面向未来信息器件的原子制造技术显示文摘未来信息器件朝着更小尺寸、更低功耗、更高性能的方向发展,其制造技术必将进入到原子尺度,原子制造技术的发展将会孕育出颠覆性的新材料和新器件。本文综述了有望发展为规模化原子制造技术的一些制备方法,如分子束外延技术、扫描探针操纵技术、化学气相制备技术、原子级刻蚀技术等,同时分析了发展面向未来信息器件的原子制造技术所面临的难题,展望了原子制造技术的应用前景和发展趋势。	杨海涛	2023	真空科学与技术学报2023，43，5：	0

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