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| 1 | 计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究显示文摘为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明:采用该方法校准计量型激光椭偏仪的初始入射角,光轴俯仰角偏差<0.05°,偏摆角偏差<0.09°;校准后,对标称值为102.10 nm的Si上SiO_(2)膜厚标准片进行测量,示值误差<0.4 nm,提升了计量型激光椭偏仪测量校准服务的准确性。 | 黎雄威 李琪 纪峰 李适 李伟 黄鹭 施玉书 皮磊 | 2022 | 计量学报2022，43，5： | 2 |
| 2 | 改进遗传算法在CMP终点检测的应用显示文摘提出了一种基于反射法的化学机械抛光(CMP)在线终点判定方法。首先通过改进的单纯形混合遗传算法(GA),对SiO 2薄膜的膜厚与折射率进行了拟合,再以200~1200 nm波段内反射率平均值作为特征值,得到了不同膜厚条件下的反射率平均值参照表。以实时反射率与预设膜厚反射率的差方和、特征值大小及其变化趋势这2个条件作为CMP终点判定条件。实验结果表明:混合算法拟合膜厚平均相对误差小于0.21%,折射率平均相对误差小于1.07%;特征值计算速度快,满足在线动态抛光的时间要求。 | 郑永军 狄韦宇 罗哉 | 2020 | 计量学报2020，41，10： | 1 |
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