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| 1 | TiN-Ti-DLC等多层复合膜的摩擦学性能研究显示文摘在一台УВНИПА 1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取TiN Ti DLC、及其含有软金属Cu或PTFE覆盖膜的多层复合涂层。摩擦磨损试验在一台球 盘滑动磨损试验机上进行。结果表明,以TiN和DLC膜为主体的多层复合涂层具有较高的摩擦学特性,过渡金属钛层、软金属和聚四氟乙烯覆盖层可以降低摩擦系数33%~50%,对磨擦表面磨损减少90%。 | 江晓红 陆小华 金元生 Rogachev A.V. Kazachenko V.P. Popov A.N. | 2003 | 南京工业大学学报(自然科学版)2003，25，2： | 4 |
| 2 | 选择性键合金属-类金刚石复合薄膜的性能研究显示文摘目的研究具有选择性键合作用的掺杂金属元素(Cu、Al、Ti)对类金刚石(DLC)薄膜的结构和摩擦学性能的影响。方法以高纯石墨及其与金属复合靶作为靶材,采用离子源镀膜技术分别在n-型(100)单晶硅片和抛光304不锈钢片基体上制备金属-DLC复合膜。采用514.6 nm氩离子激发源的Raman光谱仪,对金属-DLC复合薄膜进行拉曼光谱分析。采用努氏硬度计和表面轮廓仪测量计算薄膜的硬度和残余应力。采用原子力显微镜(AFM)观察DLC薄膜的表面形貌和结构。使用球-盘滑动磨损试验机对DLC复合薄膜进行摩擦学性能分析。结果类金刚石薄膜中掺入不同金属元素掺杂后,摩擦系数保持相对稳定,但磨损率存在较大差异。无掺杂DLC膜中的sp^3键含量最高,薄膜硬度高,残余应力大,在摩擦过程中易脱落。Ti-DLC金属复合膜的表面质量最好,结构致密,残余应力释放的同时保持较高的硬度,测得其磨损率最低,为0.13×10^(-15) m^3/nm。结论通过在DLC膜中掺杂不同键合能力的金属元素能够调控DLC薄膜的微观结构,改善薄膜的力学性能(硬度、残余应力),提高薄膜的抗磨损性能。薄膜的摩擦学性能与薄膜的微观结构与金属掺杂元素的存在形态有关。 | 王志峰 徐斌 张书姣 朱丽楠 周兵 | 2017 | 表面技术2017，46，6： | 4 |
| 3 | 热处理对类金刚石碳薄膜力学和摩擦性能的影响显示文摘利用直流磁分离及脉冲阴极双激发源等离子弧薄膜沉积装置制备了含Ti底层和无Ti底层的类金刚石碳薄膜(DLC);采用纳米硬度计、原子力显微镜和X射线光电子能谱仪分析了薄膜的力学性能和结构;采用УСК-1型球-盘滑动摩擦磨损试验机考察了薄膜的摩擦性能.结果表明,同无Ti底层的DLC薄膜相比,含Ti底层的DLC薄膜的硬度和弹性模量较低;含Ti底层的DLC薄膜经真空400℃退火后表面层中存在TiO2,内部存在TiC;而无Ti底层的DLC薄膜经真空500℃退火处理后硬度、弹性模量和表面形貌几乎保持不变;无Ti底层的DLC薄膜经空气中500℃退火后摩擦系数明显降低,这是由于DLC薄膜在空气中热处理时更易发生石墨化所致. | 江晓红 金元生 KAZACHENKO V P POPOV A N ROGACHEV A V | 2004 | 摩擦学学报2004，24，3： | 4 |
| 4 | 非平衡磁控溅射Ti掺杂类金刚石薄膜的基本特性显示文摘利用非平衡磁控溅射技术在镜面抛光的SCM415渗碳淬火钢基片上沉积了无掺杂类金刚石(DLC)薄膜和不同含量Ti掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜。利用AFM、SEM、TEM对薄膜的微观结构与形貌进行了观察,利用纳米硬度计、摩擦磨损试验仪及纳米划痕仪测试了薄膜的显微硬度、摩擦系数及薄基结合强度。结果表明:随着Ti的掺杂,薄膜硬度先迅速降低,然后保持不变,在Ti含量为25at%时薄膜硬度出现回升,膜基结合强度随Ti的掺杂呈单调增强趋势。与无掺杂类金刚石薄膜相比,掺杂Ti后薄膜表面微观凸凹增多,摩擦系数增大。对于Ti-DLC薄膜来说,随着Ti掺杂量的增加,摩擦系数出现减小的趋势。其原因在于Ti掺杂量的增加使Ti-DLC薄膜变得更加致密,同时Ti的掺杂还有利于弥补基体表面的凸凹缺陷,使薄膜变得更平滑。 | 聂朝胤 谢红梅 杨娟 陈志谦 | 2008 | 材料热处理学报2008，29，3： | 3 |
| 5 | DLC薄膜的研究进展显示文摘DLC薄膜具有优异的综合性能,在分析DLC薄膜的结构和总结归纳DLC薄膜制备方法的基础上,阐述了DLC薄膜存在的问题和解决方法。 | 李春伟 | 2021 | 科学大众(智慧教育)2021，，11： | 0 |
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