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| 1 | An Optical MIM Pressure Sensor Based on a Double Square Ring Resonator显示文摘在这份报纸,我们建议了由二 plasmonic 波导和一个双方形的戒指共鸣器组成的一个 metal-insulator-metal (MIM ) 压力传感器。二枚方形的戒指经由在他们中的二个之间定位的一个矩形的补丁被连接。表面电浆子电磁声子(SPP ) 能通过这个补丁从一枚方形的戒指被转移到其它。有限差别的时间域方法(FDTD ) 被用来模仿设备。在结构上使用一个压力,它使变形,并且在回声波长的 103 nm 的红移动被计算了。变丑与在大量波长的波长移动线性地成正比。建议光 plasmonic 压力传感器有为在生物、生物医学的工程使用使它很合适的 16.5 nm/MPa 的敏感。 | Pardis PALIZVAN Saeed OLYAEE Mahmood SEIFOURI | 2018 | Photonic Sensors2018，8，3： | 1 |
| 2 | 基于稳态扫频的MEMS谐振压力传感器芯片测试显示文摘针对硅微谐振式压力传感器开环测试的需求,提出了一种基于稳态扫频的硅微谐振式压力传感器芯片测试方法,实现了高精度扫频激励信号电路与高分辨率检测电路的设计。此设计将单片机技术与直接数字频率合成技术的优点相结合,实现了范围为1 kHz~1 MHz精确扫频,其最小扫频步距为1 Hz。通过算法补偿有效减小了扫频激励信号的频率误差,使其平均绝对误差低于0.08 Hz。在幅值检测电路设计中,采用峰值检测电路与差分PulSAR ADC电路相结合,实现了传感器输出信号电压幅值的高分辨率检测,实测得到传感器幅频曲线,并对谐振器的谐振频率稳定性进行了测试,计算出了谐振器的机械品质因数和谐振频率等参数,为谐振器结构优化设计提供了依据。 | 李晓莹 张艳飞 任森 邓进军 苑伟政 | 2013 | 微纳电子技术2013，50，4： | 1 |
| 3 | 考虑温度影响的砷化镓光子晶体压力传感器的设计与研究显示文摘提出了一种由双通道滤波器构成的砷化镓光子晶体压力传感器,利用波导与腔耦合实现窄带滤波,双通道分别实现压力探测和温度探测的功能。以室温25℃、0压力的情况作为参考,在温度为-25~45℃、压力为0~2GPa的范围内,根据滤波器的滤波波长分别与温度和压力之间的线性变化关系,探测温度和压力。同时还分析并比较了极端温度情况下滤波波长的变化,确定温度变化对压力测量造成的影响,在较恶劣的情况下温度变化不可忽略。分析得出未考虑温度响应的压力灵敏度约为16.6nm/GPa,消除温度响应后压力灵敏度约为15.9nm/GPa,品质因子高达5696。 | 夏雨 陈德媛 陈兵 张岩 李梦凡 | 2019 | 传感技术学报2019，32，10： | 0 |
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