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1精密微小内尺度测量技术研究进展显示文摘针对微小内尺度的精密测量问题介绍了非接触式、补偿式与瞄准触发式等几种测量新技术。分析了每一种测量技术的测量机理,通过对其结构设计分析得出该技术适用的测量范围,并对其测量性能进行了讨论;重点分析了瞄准触发式测量技术,并对其性能进行了比较。最后对微小内尺度的精密测量发展方向进行了总结。崔继文 谭久彬 宋传曦 2010中国机械工程2010,21,1:5
2法布里—泊罗标准具在精密测量中的应用显示文摘根据最小二乘法原理,直接对法布里—泊罗标准具产生的干涉条纹进行拟合,在拟合过程中充分考虑了矩阵的病态条件,推导出光波波长与拟合方程系数间的关系。利用干涉条纹数字化方法求出了光波波长,这种方法克服了传统方法难以对准中心(圆心)和干涉条纹发生畸变时不能保证△r2恒为常量的缺陷。利用此方法可实现特殊形状工件的精密测量,提高测量精度。试验结果表明:系统对工件的测量精度可达到10μm量级,并可实现大规模快速测量。吕淑媛 张威虎 张富春 2009延安大学学报(自然科学版)2009,28,2:0
3基于MAP与POCS混合算法的微内腔尺寸测量方法显示文摘光纤微力接触式测量方法是测量内腔体尺寸的一种新方法,但其采集的图像受光学系统景深等各种因素的影响而使其质量下降,从而导致测量精度的下降.为此提出了一种基于最大后验概率算法与凸集投影算法的混合处理方法,以提高测量精度.该处理方法结合MAP整体收敛性好和POCS细节保持能力强的特点,首先利用MAP算法使图像达到全局最优,再为图像的局部增加凸集,使局部同时达到最优.该方法能够降低图像中噪声对高频恢复的影响,保证最优图像的唯一性,同时保持图像的边缘与细节,可以显著提高测量精度.实验结果表明,应用此处理方法对微内腔体尺寸进行测量时可以实现对内腔体尺寸的精密测量,其定位不确定度可提高3倍,测量不确定度可达0.7μm.崔继文 谭久彬 刘丹丹 2006计量学报2006,27,z1:0
4法布里—泊罗标准具实验的一种新的数据处理方法显示文摘给出了用法布里—泊罗标准具测量光波波长的一种数据处理方法,该方法克服了传统方法中叉丝难以对准圆环中心而引入的误差,并对实验测量的光波波长作了不确定度评价.盛虹 2010渭南师范学院学报2010,25,2:0
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