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1环境温度对集成微沟道温差空气流量传感器的影响及其补偿显示文摘研究了环境温度对集成微沟道热式空气流量传感器的影响,并提出了相应的环境温度补偿方案,能显著减小测试误差。这种传感器的测试原理是通过加热电阻的上下游温度差来反映空气流速,不同的环境温度,该上下游温度差也不同,从而导致测试结果出现偏差。随着环境温度的增加,上下游温差变小,输出电压也减小,但可测试范围增加。同时,文中提出的一种环境温度补偿方案是在芯片上游放置环境温度测试电阻,将环境温度转化为电阻信号,以作为环境温度补偿依据,最终使得加热电阻与环境温度的温差保持恒定,这样就减小了环境温度的变化带来的测试误差。当流速为2.5 m/s,环境温度分别为0℃、27℃和50℃时,补偿前传感器的输出电压信号分别为4.5 V、3.6 V和2.4 V,补偿后传感器的输出电压信号分别为3.62 V、3.68 V和3.75 V。余柏林 王瑞春 龚汉东 余法红 2011传感技术学报2011,24,5:3
2集成微沟道空气流量传感器的动态特性显示文摘研究集成微沟道空气流量传感器的动态特性,定性分析了传感器动态特性的影响因素;并动态模拟了有正脉冲和负脉冲气流时上下游的温度随时间的变化关系,得到正负脉冲下横膈膜上温度稳定所需要的时间分别约为1.1 ms和1.5 ms。在实验中,测试了正负脉冲气流下,输出电压的完全响应时间分别为1.2 ms和1.5 ms;并采用示波器动态监测了不稳定流动状态下信号电压的时间特性,得到输出信号相对于流量脉冲稍有滞后,具有一定的流场惯性迟滞和热惯性迟滞。余柏林 王瑞春 张卫丰 余法红 2011仪表技术2011,,7:0
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