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| 1 | 微米级光学光斑测量系统设计显示文摘微米级测量光斑是激光非接触共焦法测量核聚变微靶的一项重要指标。要使测量精度达到1μm,测量光斑直径也应在微米级。根据激光高斯分布理论,设计加工了在GJ—Ⅳ共焦测头上实现微米级焦点光斑的光学系统进行了测量误差分析。通过实验和测试,激光测量光斑为10μm,工作距离为20 mm,测量精度为0.04%。实验数据证明:设计的光学系统从测量范围、测量光斑尺寸、测量精度等方面均满足微靶球测量的要求。 | 时焕玲 裘祖荣 洪昕 | 2010 | 传感器与微系统2010，29，9： | 1 |
| 2 | 激光共焦测头中音叉自振系统的优化设计显示文摘音叉自振系统的振动稳定性对激光共焦测头测量系统的精度有重大的影响。笔者提出一种利用有限元分析方法,建立了音叉自振系统的电-磁-结构场的n次顺序耦合模型,优化选择了永磁铁的材料,分析总结出在永磁铁的磁极、激励线圈和感应线圈的匝数、线径和位置关系不同时,音叉自振系统的电磁场及振动的时域响应特性规律,进行了系统的优化设计。实验表明,安装了优化后的音叉自振系统的激光共焦测头的的长期稳定性为2μm,精度提高了8μm。 | 鲁娜娜 韩阳 | 2013 | 数字技术与应用2013，31，7： | 0 |
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