维普期刊资源整合服务平台（V6.5）

维普中文期刊产品整合服务

共被期刊论文引用了2次 您的检索式：您选中1篇文献正在查看引证文献汇总

选中清除导出查看参考文献查看引证文献引用追踪共1页首页上一页第1页下一页末页 /1 跳转

		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	单晶硅表面改性及其微观摩擦学性能研究进展显示文摘评述了单晶硅表面改性及其微观摩擦磨损性能研究现状和进展,就单晶硅微观机械性能和摩擦磨损性能、单晶硅表面沉积薄膜和氧化层的微观机械和摩擦学性能及硅材料表面离子注入和表面纳米化等相关研究进行了归纳总结;指出应当继续深化硅材料表面改性技术及改性层微观摩擦学性能的研究,特别是应当加强硅材料表面离子注入及表面纳米化的研究,从而满足MEMS/NEMS等高技术领域的应用和发展需要.	孙蓉徐洮薛群基	2004	摩擦学学报2004，24，4：	15
	2	Theoretical study on the influence of residual stress on adhesion-induced instability in MEMS显示文摘Adhesion and residual stress play a critical role in the performance and reliability of MEMS. The influ-ence of residual stress on the adhesion-induced instability in MEMS is examined within the framework of thin elastic plate theory. The results show that the adhesion-induced instability will be mitigated if the residual stress exists in certain component of MEMS. Moreover, we find that the influence is significant only when the residual stress is under a proper magnitude (β≤20).	WANG ShiJi LI Xian CHEN ZhengHan	2009	Chinese Science Bulletin2009，54，15：	1

返回顶部每页显示：

共1页首页上一页第1页下一页末页 /1 跳转

goolge学术搜索-维普

网站首页 | 关于我们 | 联系我们 | 产品服务 | 客服中心 | 广告服务 | 版权声明 | 网站联盟 | 友情链接 | 售卡网点

版权所有© 渝B2-20050021-1　渝公网安备 50019002500403号　违法和不良信息举报中心

互联网出版许可证新出网证(渝)字10号全国400电话 - 免长途话费