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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	非金属掺杂类金刚石膜的研究进展显示文摘非金属掺杂类金刚石(DLC)膜可以优化纯类金刚石膜的一些性能。例如:掺磷DLC膜电阻率小,还可以明显提高其血液相容性;掺氮DLC膜不仅电阻率小,可作为半导体材料,还具有热稳定性好的优点;掺氟DLC膜在憎水性、耐蚀性、热稳定性和降低介电常数等方面更为优异;硅掺杂使膜中氢含量减少、内应力减小、粗糙度和摩擦系数降低。对非金属掺杂DLC膜的进展做了概括及分析,展现出其广泛的应用前景。	郭延龙孙有文王淑云王小兵程勇卢常勇	2009	激光与光电子学进展2009，46，4：	11
	2	激光制备类金刚石膜技术研究显示文摘现有技术制备的类金刚石(DLC)膜由于含氢、硬度低、内应力大、附着力差等特点,严重限制了其光学工程应用。激光法是近年发展的一种制备DLC膜的新方法,相比其他制备方法具有诸多优点。综合分析了激光制备DLC膜过程中,激光波长、脉宽、功率密度、衬底温度和偏压等因素对薄膜质量的影响规律。采用氧气氛辅助沉积、元素掺杂和双波长激光复合沉积等关键改进技术,实现了在Si、Ge等基底上激光制备DLC膜光学工程化应用。	程勇王淑云郭延龙杨雪陆益敏	2011	光学与光电技术2011，9，3：	3

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