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| 1 | 基于四分之一波片的菲佐型同步移相干涉测量方法显示文摘为了实现干涉测量平面的抗振,提出了一种同步移相干涉测量方案并搭建了实验装置。整个测量系统在菲佐移相干涉仪的基础上,利用四分之一波片作为参考镜,获得一对正交偏振光,经过棋盘相位光栅分光,利用光阑选取对于理想光栅衍射效率一致的(±1,±1)级衍射光作为测量分光路,使之先后通过相位延迟阵列和偏振片获得4幅移相量依次为π/2的干涉图。按照传统的4步移相算法,对被测波面进行了复原。分析了光强畸变和移相误差对系统测量误差的影响。与泰曼型同步移相干涉测量相比,该方案可以简化系统结构,减小系统误差,并且更易装校,更适合用于平面的测量。 | 蒋超 郭仁慧 张辉钦 周翔 郑东晖 陈磊 | 2016 | 激光与光电子学进展2016，53，10： | 3 |
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