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    题名 作者 年代 出处 被引量
1磁控溅射TiO_2薄膜的相结构转变温度显示文摘利用射频磁控溅射制备了TiO_2致密薄膜,并通过退火实现TiO_2的相转变,采用扫描电镜,X射线衍射等手段对薄膜相结构进行表征并做了详细的分析。结果表明,退火后TiO_2薄膜结构致密,表面呈现出大小均匀的纳米晶粒。400℃退火时,TiO_2薄膜为单一的锐钛矿相,500~600℃退火时为锐钛矿和金红石混合相,700℃以上退火时则完全转变为金红石相。梅海林 唐立丹 王冰 董国建 2016金属热处理2016,41,9:2
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