维普中文期刊产品整合服务
意见 帮助
基本检索 作者索引 机构索引 期刊索引
  • 哲学宗教
  • 社会学
  • 政治法律
  • 军事
  • 经济管理
  • 文化科学
  • 语言文字
  • 文学
  • 艺术
  • 历史地理
  • 自然科学总论
  • 理学
  • 天文地球
  • 生物学
  • 医药卫生
  • 农业科学
  • 一般工业技术
  • 矿业工程
  • 石油与天然气工程
  • 冶金工程
  • 金属学及工艺
  • 机械工程
  • 兵器科学与技术
  • 动力工程及工程热...
  • 核科学技术
  • 电气工程
  • 电子电信
  • 自动化与计算机技术
  • 化学工程
  • 轻工技术与工程
  • 建筑科学
  • 水利工程
  • 交通运输工程
  • 航空宇航科学技术
  • 环境科学与工程
时间 1989 - 2010 学科选择学科
题名/关键词 模糊
与 题名/关键词 模糊
重新搜索 在结果中搜索
共被期刊论文引用了1次 您的检索式：您选中1篇文献正在查看引证文献汇总
选中 清除  导出 查看参考文献 查看引证文献 引用追踪 共1页 首页 上一页 第1页 下一页 末页 /1 跳转
    题名 作者 年代 出处 被引量
1MEMS器件用叠层镍间结合强度的研究显示文摘针对MEMS器件用叠层镍间结合强度差这一难题,开展了基于盐酸化学刻蚀提高叠层镍间结合强度的工艺研究.主要考查了不同盐酸浓度、处理温度等对镍层层间结合强度的影响规律.借助SEM、Veeco轮廓分析仪等观察断面,分析结合强度改善的原因.结果表明:在45℃的温度下,经过50%HCl、10 min的化学刻蚀,叠层镍间结合强度达到567.7 MPa,比未经化学刻蚀处理的叠层镍间结合强度提高了6倍.通过SEM、Veeco等分析手段,初步解释了结合强度提高的原因.李雪萍 张丛春 姚锦元 王艳 汪红 丁桂甫 赵小林 2016复旦学报(自然科学版)2016，55，2：0
返回顶部 每页显示：
共1页 首页 上一页 第1页 下一页 末页 /1 跳转
goolge学术搜索-维普

网站首页 | 关于我们 | 联系我们 | 产品服务 | 客服中心 | 广告服务 | 版权声明 | 网站联盟 | 友情链接 | 售卡网点

版权所有© 渝B2-20050021-1　渝公网安备 50019002500403号　违法和不良信息举报中心

互联网出版许可证 新出网证(渝)字10号 全国400电话 - 免长途话费