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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	SiO2/Si膜厚标准样品校准相调制型光谱椭偏仪研究显示文摘椭圆偏振仪(或简称椭偏仪)在薄膜研究领域应用广泛。文章主要研究了相调制型光谱椭偏仪光路准直及参数优化过程,并通过硅上二氧化硅膜厚标准样品测量及数据拟合处理对光谱椭圆偏振仪进行校准。经过光路准直调整和参数优化后的椭圆偏振仪测量膜厚标准样品,拟合测量数据并将显示测量厚度值与标准样品厚度值比较,测量值在不确定范围内。	贾亚斌任玲玲高慧芳陶兴付秦林	2016	计量技术2016，0，2：	0

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