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1非本征光纤法珀传感器的振动特性研究显示文摘针对光纤法珀(Fabry-Perot,FP)超声波传感器振动特性,将传感器薄板振动简化为具有集中参数的二阶振动,推导二阶振动方程的集中参数(力阻抗、等效质量、弹性系数、集中力),获得传感器共振频率、振幅灵敏度与结构参数设计关系。测试直径2.52 mm、厚度150μm玻璃振动薄板在空气、水中的共振频率分别为205 k Hz及115 k Hz,水介质中共振频率振幅灵敏度约18 pm/Pa。制作的传感器可测试局放产生超声波的最小声压约1 Pa。郭少朋 方光荣 刘俊标 鞠昱 2016振动与冲击2016,35,2:4
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