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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	磁力驱动串联式双腔微泵设计及性能测试显示文摘针对无阀微泵背压能力较弱等问题,采用MEMS技术制作出不同结构参数的双腔和单腔微泵体,构建了基于电机驱动的磁力式双腔串联无阀微泵测控系统。实验结果表明,泵腔面积相等的情况下,圆形泵腔的微泵流量大于椭圆形泵腔的流量;随着驱动频率的升高,双腔串联微泵的流量呈现高斯分布,并在20 Hz附近处出现流量峰值,微泵的最大流量可达1.5 mL/min,微泵的截止背压为170mmH_2O,双腔串联微泵比单腔微泵的流量增大约80%。	徐迎华李杰超闫卫平李伟肖良平	2015	测控技术2015，34，8：	2

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