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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	氮流量比对直流/射频磁控溅射CrN涂层耐腐蚀性的影响显示文摘采用直流/射频磁控溅射法,在不同氮流量比条件下制备了CrN涂层。利用扫描电镜、X射线衍射、显微硬度计和电化学测试系统研究了氮流量比对涂层组织和性能的影响,并对涂层腐蚀机制进行了初步探讨。研究结果表明:不同氮流量比条件下,直流溅射CrN涂层呈现明显的柱状晶,组织疏松,而射频溅射涂层结构都比较致密,导致射频涂层的耐腐蚀性明显优于直流涂层;在直流条件下,氮流量比为70%时的CrN涂层耐蚀性最佳。	谈淑咏吴湘君张旭海蒋建清	2013	真空科学与技术学报2013，33，12：	4

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