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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	基于初次电流分布的电解微刻蚀均匀性研究显示文摘在电解刻蚀中,阳极表面的电流密度由装置的几何尺寸、加工参数、极化情况等决定,其中,几何要素决定加工间隙的初次电流密度分布,主要影响刻蚀结果。采用有限单元法数值模拟不同尺寸阴极、辅助电极、加工间隙等对加工区域初次电流分布的影响,确定了均匀性随各几何因素的变化趋势。	韦鸿钰郭钟宁王冠	2014	电加工与模具2014，，3：	0

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