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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	一种新型MEMS微电感制作工艺和模拟研究显示文摘采用光刻、干法刻蚀、电镀等微机电系统(MEMS)工艺设计了一种新型的带磁芯的螺线管微电感。采用COMSOL Multiphysics有限元软件,计算了不同频率交流载荷下的等效电阻、等效电感和阻抗随频率变化的关系。模拟结果表明,在1kHz^1MHz的频率范围内,其等效电感值基本不变,约为27nH,电阻值约为9Ω,射频模拟结果表明其共振频率为0.45GHz。	谈志杰沈娇艳程新利王友清潘涛	2014	压电与声光2014，36，2：	1

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