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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	基于直线型超声马达的压电振子特性仿真分析显示文摘通过运用Ansys有限元分析软件建立了压电振子的有限元模型,对压电振子进行了尺寸优化、模态分析、谐响应分析、瞬态动力学分析。通过仿真得到了压电振子的振型,计算了压电振子L1B2纵弯复合振动模态的最佳频率,得到对应动态支路等效电路的各项参数,验证了压电振子驱动足椭圆运动的形成。仿真结果对利用纵弯复合模态的超声波电机的设计具有重要的指导意义,为超声波马达的制作和实验研究奠定了基础。	史萌博范桂芬吕文中曾炼	2013	微电机2013，46，11：	1

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