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1微球组装技术在三维电池衬底中的应用研究显示文摘以非晶硅薄膜和聚苯乙烯微球为原材料,采用自组装方法和反应离子刻蚀技术制作非晶硅微米结构,以期应用于三维电池银背电极的制备当中。实验表明,对微球的刻蚀时间进行控制、对非晶硅的刻蚀气压、刻蚀时间进行控制,可获得不同的三维微米结构。采用合适的工艺条件可获得梯形结构、三角形结构,蒸镀银薄膜后能获得约95%的可见光、近红外光散射比率,为三维电池制备提供一种新的实现方法。高海波 张晓丹 梁雪娇 赵慧旭 刘伯飞 白立沙 陈泽 梁俊辉 赵颖 2013太阳能学报2013,34,12:0
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