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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	纳米SiO_2抛光液的制备及在蓝宝石抛光中的应用显示文摘制备一种纳米氧化硅抛光液,采用扫描电子显微镜、激光粒度仪、颗粒计数仪等对其物性参数进行表征;使用该抛光液对LED蓝宝石衬底进行机械化学抛光,采用轮廓仪、表面缺陷检测设备、原子力显微镜等对抛光后的蓝宝石衬底表面进行表征。结果表明,制备的纳米氧化硅抛光液对LED蓝宝石衬底具有优异的抛光性能,抛光后的表面无划伤、无腐蚀坑,且粗糙度小于0.2 nm。	张泽芳侯蕾闫未霞刘卫丽宋志棠	2013	润滑与密封2013，38，7：	5

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