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| 1 | α-C:H膜表面形貌及光学性能的测试分析显示文摘以H2和反式-2-丁烯(T2B)为工作气体,利用低压等离子体增强化学气相沉积法制备了α-C:H薄膜。采用原子力显微镜、扫描电镜测试了α-C:H薄膜的表面形貌,分析了实验参数对其形貌的影响。研究表明:固定压强(15Pa),当T2B/H2流量比为4时,薄膜均方根粗糙度可达0.97nm。保持T2B/H2流量比固定,增加工作气压,薄膜均方根粗糙度减小,表面更平整、致密。利用傅里叶变换红外光谱仪对薄膜价键结构进行分析,结果表明:α-C:H薄膜中主要存在sp^3C—H键,氢含量较高;T2B/H2流量比越低,薄膜中含有更多的C=C键。应用UV—VIS光谱仪,获得了波长在200~1100nm范围内薄膜的光吸收特性,α-C:H薄膜透过率可达98%,计算得到的折射率在1.16~1.40。随工作气压的增加,α-C:H薄膜中sp^3杂化键增多,透过率、折射率增大。 | 刘兴华 吴卫东 何智兵 袁前飞 王红斌 蔡从中 | 2007 | 强激光与粒子束2007，19，11： | 4 |
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