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时间 1989 - 2010 学科选择学科
题名/关键词 模糊
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1聚合物前驱体转化法制备陶瓷微机电系统显示文摘陶瓷材料作为一种在高温和腐蚀等苛刻环境中应用的重要材料,对其制备和加工技术进行研究是非常必要的。本文在简要概述传统微机电系统(MEMS)加工技术对制备陶瓷MEMS存在的不足基础上,着重介绍了由聚合物前驱体转化法制备陶瓷MEMS的制备方法、工艺流程、优缺点及未来发展方向。陈伟伟 陈立新 宋家乐 景晨丽 王汝敏 2007真空电子技术2007，20，1：1
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