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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	MEMS变形反射镜特性测试系统研究显示文摘为了实现对MEMS变形反射镜的静态形貌、动态离面变形及谐振频率的测量,提出了一种基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统。测试中采用频闪照明技术及5步相移技术实现了对干涉相位的测量,利用空间及时间相位解缠算法恢复了反映物体真实信息的连续相位,从而得到了所需的特性参数。实验结果表明:该系统具有测量简便、自动化程度高及测量精度高等特点。	陈家凤陈海清向东	2007	红外与激光工程2007，36，5：	3

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