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| 1 | 掺铬类石墨薄膜摩擦学性能研究显示文摘采用非平衡磁控溅射离子镀技术,以电流控制方式在高速钢和硅基底上制备了不同Cr含量的C/Cr类石墨薄膜,测量了类石墨膜的显微硬度、膜基结合强度、摩擦系数和比磨损率,分析了薄膜的相结构,观察了薄膜的表面和断面形貌。结果表明:所制备的类石墨薄膜随Cr含量的增高,硬度逐渐降低,结合强度先增后降,摩擦系数和比磨损率则先降后升;类石墨膜是含有多种纳米晶的非晶结构;金属元素Cr含量影响了类石墨碳膜的表面形貌和组织结构。当Cr含量在0.5%~2.5%时,薄膜表面光滑而结构致密,摩擦系数小且比磨损率低,膜基结合强度高,具有良好减摩耐磨性能。 | 严少平 蒋百灵 段冰 顾广颐 孙雅琴 | 2007 | 安徽理工大学学报(自然科学版)2007，27，3： | 1 |
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