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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	非平衡磁控溅射结合电弧离子镀制备掺杂DLC硬质膜性能研究显示文摘将非平衡磁控溅射和电弧离子镀工艺相结合,并使用霍尔离子源辅助,制备了过渡层为Cr、掺杂Ti和N的DLC薄膜。对DLC薄膜的表面形貌、内部结构、力学性能以及电学性能进行了分析测试,结果表明:膜层中含有sp2键和sp3键结构,硬度达到HV(20g)2600以上,摩擦因数接近0.1,电阻高于2MΩ。	于大洋马胜歌张以忱徐路	2006	中国表面工程2006，19，6：	4

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