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1MPCVD实验条件对碳氮纳米管薄膜场发射性能的影响显示文摘通过正交设计试验法研究了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)实验条件对碳氮纳米管薄膜场发射性能的影响.结果表明,当微波功率为1 500 W、反应气压为8.5 kPa、甲烷、氮气和氢气的流量比为8:20:80时,制备的碳氮纳米管薄膜场发射特性最好,其开启电场强度为3.2 V/μm,电场强度为8.0V/μm时的电流密度为3.5 mA/cm2.鲁占灵 赵瑞霞 姚宁 杨仕娥 张兵临 2005郑州大学学报(工学版)2005,26,3:1
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