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1液相沉积法制备类金刚石膜的研究显示文摘探讨了用液相法在钛合金表面沉积制备类金刚石膜的可能性,研究了沉积膜工艺条件对膜的影响,得出了适宜的沉积条件.结果表明,通过液相法可以沉积制备得到DLC膜,但与沉积条件有着密切的关系.当电压为1600~1850V、温度为60~62℃、电极间距为8~10mm、沉积时间大于36h时,才能在钛合金表面得到完整的DLC绝缘膜.王红卫 孙敏 沈风雷 闻荻江 2005材料开发与应用2005,20,5:1
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