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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	2m激光干涉测长基准装置显示文摘阐述了2m激光干涉测长基准装置工作原理及系统组成,以线间距测量功能为基础,研究了接触式和非接触式的几何测长对准方法,实现了其测长功能拓展应用。介绍了实现纳米精度测长的技术措施。对称布局的双光电显微镜同步扫描测量接长的方式实现2m刻线间距测量,信号处理系统具有标准间距位置脉冲发生功能,可以实现位移传感器动态触发校准和其它应用。对于高质量的线纹尺,2m激光干涉测长基准装置单次测量刻线间距的最佳瞄准精度优于10nm(1σ),1m测量范围内的线纹测量不确定度U=(20+40L)nm(k=2)。	叶孝佑高宏堂孙双花邹玲丁沈雪萍甘晓川常海涛张晓	2012	计量学报2012，33，3：	9

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