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| 1 | 基于准分子激光微加工的光热微驱动器(英文)显示文摘提出了基于光热(PT)微膨胀原理的新型光热微驱动技术.设计了一种能将纵向光热膨胀转化成横向偏转的微驱动器.以AutoCAD设计图为基础,采用KrF准分子激光微加工系统,在单层高密度聚乙烯(HDPE)上加工出长1 500μm、宽250μm、厚40μm的开关式光热微驱动器.从微驱动器的扫描电子显微镜(SEM)图可以看出,微驱动器形状与AutoCAD设计值符合良好.光热微驱动实验采用脉冲频率可调的半导体激光器(4 mW,650 nm)作为驱动源.实验结果表明,在一定的脉冲频率范围(如0~17 Hz)内,光热微驱动器具有良好的静态和动态特性,其横向偏转量最大可达11μm,足以实现微开关功能.这种光热微驱动器可由激光束直接控制,具有原理新颖、结构简洁、体积小、易于加工制作等特点,在微纳米技术领域和微光机电系统(MOEMS)中具有广阔的应用前景. | 章海军 赵冬伟 伊福廷 王波 张冬仙 | 2011 | 纳米技术与精密工程2011，9，5： | 0 |
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