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| 1 | 色分离光栅的溶胶凝胶化学法制备工艺显示文摘以锆酸丁酯为源,通过溶胶凝胶法制备了一种光敏ZrO2溶胶,在熔石英表面通过提拉法镀制具有负性光刻胶性质的光敏凝胶薄膜。在此基础上,设计色分离光栅(CSG)的结构,通过二次曝光、显影过程,制备了具有三台阶结构的CSG。对光栅形貌进行表征,周期为210μm,单台阶高度约为500nm,光栅面积为30mm×30mm。采用Nd:YAG激光器对衍射效率进行了测量,测得CSG对355nm激光衍射效率达到约88.4%,1064nm及532nm激光的衍射效率分别为5.7%和4.2%。 | 刘春泽 周斌 周昌鹤 杜艾 沈军 | 2010 | 原子能科学技术2010，44，7： | 0 |
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