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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	溅射气压对ZrO2薄膜微结构与光学性能的影响显示文摘利用射频反应磁控溅射在显微玻璃、单晶硅片、NaCl和石英上沉积ZrO2薄膜.膜厚60~80nm.研究发现,溅射气压升高,薄膜结晶程度降低,同时存在单斜相和四方相;晶粒尺寸增大;折射率上升;透射率在700~1000nm波段上升.这些结果表明溅射气压影响ZrO2薄膜生长机制、微观结构和成份,进而影响其光学性能.	刘建华徐可为	2004	功能材料2004，35，z1：	0

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