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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	射频磁控溅射ZnO薄膜的微结构与光学特性显示文摘研究了膜厚对ZnO薄膜微结构和光学性能的影响。采用射频磁控溅射法在单晶硅(111)和玻璃基片上制备了不同厚度的ZnO薄膜。通过X射线衍射、原子力显微镜和紫外可见光谱对薄膜进行了表征。结果表明薄膜结晶性能良好,在(002)晶面具有明显的c轴取向。随着薄膜厚度的增加,透射率下降,吸收边红移,禁带宽度逐渐减小。	黄飞孙仲亮孟凡明孙兆奇	2008	真空电子技术2008，21，2：	2

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